סקירה כללית של פוטורזיסט

פוטורזיסט, הידוע גם בשם פוטורזיסט, מתייחס לחומר שכבה דקה שמסיסותו משתנה כאשר הוא נחשף לאור UV, קרני אלקטרונים, קרני יונים, קרני רנטגן או קרינה אחרת.

הוא מורכב משרף, פוטו-איניציטור, ממס, מונומר ותוספים אחרים (ראה טבלה 1). שרף פוטורזיסט ופוטו-איניציטור הם המרכיבים החשובים ביותר המשפיעים על ביצועי הפוטורזיסט. הוא משמש כציפוי נגד קורוזיה במהלך תהליך הפוטוליתוגרפיה.

בעת עיבוד משטחי מוליכים למחצה, שימוש בפוטורזיסט סלקטיבי מתאים יכול ליצור את התמונה הרצויה על פני השטח.

טבלה 1.

פוטורזיסטים מסווגים לשתי קטגוריות עיקריות על סמך התמונה שהם יוצרים: פוטוסיבי ושלילי. במהלך תהליך הפוטורזיסט, לאחר החשיפה והפיתוח, החלקים החשופים של הציפוי מתמוססים, ונותרים החלקים הלא חשופים. ציפוי זה נחשב לפוטורזיסט חיובי. אם החלקים החשופים נשארים בעוד שהחלקים הלא חשופים מתמוססים, הציפוי נחשב לפוטורזיסט שלילי. בהתאם למקור אור החשיפה ולמקור הקרינה, פוטורזיסטים מסווגים עוד כ-UV (כולל פוטורזיסטים UV חיוביים ושליליים), פוטורזיסטים UV עמוקים (DUV), פוטורזיסטים בקרני רנטגן, פוטורזיסטים בקרן אלקטרונים ופוטורזיסטים בקרן יונים.

פוטורזיסט משמש בעיקר לעיבוד של תבניות עדינות בלוחות תצוגה, מעגלים משולבים והתקני מוליכים למחצה בדידים. טכנולוגיית הייצור העומדת מאחורי פוטורזיסט היא מורכבת, עם מגוון רחב של סוגי מוצרים ומפרטים. ייצור המעגלים המשולבים בתעשיית האלקטרוניקה מטיל דרישות מחמירות על הפוטורזיסט בו נעשה שימוש.

חברת Ever Ray, יצרנית בעלת 20 שנות ניסיון המתמחה בייצור ופיתוח שרפים הניתנים לריפוי אור, מתגאה בכושר ייצור שנתי של 20,000 טון, קו מוצרים מקיף ויכולת להתאים אישית מוצרים. בפוטורזיסט, Ever Ray משתמשת בשרף 17501 כמרכיב העיקרי.